一种评估电容式非接触位移测量系统稳定性的装置及方法

摘要

本发明公开一种评估电容式非接触位移测量系统稳定性的装置及方法，评估装置用于等效于电容式位移传感器探头与待测面间隙恒定不变时的状态，所述评估装置由标准电容和三同轴电缆相互连接构成，其中所述三同轴电缆包括外屏蔽层、内屏蔽层和芯极，标准电容的两端分别与所述三同轴电缆一端的外屏蔽层和芯极连接，三同轴电缆的另一端通过连接公头、连接母头和三同轴延伸电缆最终与电容式非接触位移测量系统连接。