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关于两个轴线振荡并且具有位置检测系统的特别是压阻型的MEMS器件

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MEMS器件(40)具有经由被配置为支持平台关于第一轴线(A)的旋转的弹性连接元件(46)由框架(48)承载的平台(45)。承载结构(41)通过被配置为支持框架(48)关于横向于第一轴线(A)的第二轴线(B)的旋转的第一和第二弹性悬挂臂来支撑框架(48)。弹性悬挂臂(49)通过被布置成关于第二轴线(B)偏移的相应锚固部分(50)而被锚固到承载结构(41)。应力传感器(51、52)由第一和第二传感器元件(51、52)形成，其相应地被布置在关于第一轴线(A)对称位置中的第二轴线(B)的相同侧上的锚固部分附近的第一和第二悬挂臂(49)上。

著录项

公开/公告号CN110240113A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-09-17

原文格式PDF
申请/专利权人意法半导体股份有限公司;
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申请/专利号CN201910485274.7
发明设计人 M·默利;R·卡尔米纳蒂;M·罗西;
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申请日2016-09-30
分类号
代理机构北京市金杜律师事务所;
代理人王茂华
地址意大利阿格拉布里安扎
入库时间 2024-02-19 13:03:53

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-10-15

实质审查的生效 IPC(主分类):B81B3/00 申请日:20160930

实质审查的生效
2019-09-17

公开

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外文文献

1. 关于两个轴线振荡并且具有位置检测系统的特别是压阻型的MEMS器件 [P] . 中国专利： CN107265387B . 2019.07.09
2. 关于两个轴线振荡并且具有位置检测系统的特别是压阻型的MEMS器件 [P] . 中国专利： CN107265387A . 2017-10-20
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