分光装置、温度特性导出装置、分光系统以及分光方法

摘要

一种分光装置、温度特性导出装置、分光系统以及分光方法，能够高精度地对目标波长的光进行分光。分光装置具备：分光模块、检测所述分光模块的温度的温度检测部和控制所述分光模块的模块控制部，所述分光模块包括：干涉滤波器，具有一对反射膜以及通过施加电压改变所述一对反射膜之间的间隔尺寸的间隔变更部；以及电容检测电路，输出与所述一对反射膜之间的静电电容对应的检测信号，所述模块控制部根据所述分光模块的温度特性和由所述温度检测部检测到的检测温度校正从所述电容检测电路输出的检测信号的目标值，控制施加在所述间隔变更部的所述电压以便于成为校正从所述电容检测电路输出的检测信号的所述目标值。