二级位移放大的XYθ三自由度柔顺精密定位平台

摘要

本发明涉及微纳操作、精密定位技术领域，尤其涉及一种二级位移放大的XYθ三自由度柔顺精密定位平台。包括六边形基座、压电陶瓷驱动器、动平台和三个结构完全相同的二级位移放大柔性支链；所述基座的三等边与压电陶瓷驱动器的伸缩方向相垂直，在所述基座的三个夹角位置分别设置三个凹槽，所述压电陶瓷驱动器通过预紧螺钉放置在所述凹槽内，所述动平台布置在所述六边形基座的中心并与所述二级位移放大柔性支链连接，所述二级位移放大柔性支链、动平台、基座通过柔性圆形铰链相连接，整体结构使用线切割一体加工制造。整个定位平台由电火花线切割技术进行一体式的制造加工，消除了机械装配所带来的误差。