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使用样品间距的扫描探针显微镜方法和装置

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摘要

优选实施例涉及一种操作扫描探针显微镜(SPM)的方法和装置，其使用小于五行、更优选为两行的测量扫描来执行样本测量，以精确定位样本的特征的域。这是通过选择测量扫描的相邻行之间的步长距离，使其不等于在垂直于测量扫描横穿的方向上特征的间距，即不等于扫描方向X

1. 使用样品间距的扫描探针显微镜方法和装置 [P] . 中国专利： CN101300480B . 2012.08.29
2. 使用扫描探针显微镜分析样品表面的方法和用于该方法的扫描探针显微镜 [P] . 中国专利： CN105699700A . 2016-06-22
3. METHOD FOR MEASURING DISTANCE BETWEEN PROBE OF SCANNING PROBE MICROSCOPE AND SAMPLE SURFACE, AND SCANNING PROBE MICROSCOPE [P] . 日本专利： JP2007033321A . 2007-02-08

机译：扫描探针显微镜和样品表面探针与扫描探针显微镜之间距离的测量方法
4. SCANNING PROBE MICROSCOPY METHOD AND APPARATUS UTILIZING SAMPLE PITCH [P] . 欧洲知识产权局专利： EP1949086B1 . 2018-09-12

机译：扫描探针显微镜方法和利用样品间距的装置
5. SCANNING PROBE MICROSCOPY METHOD AND APPARATUS UTILIZING SAMPLE PITCH [P] . 韩国专利： KR101392044B1 . 2014-05-19

机译：扫描探针显微镜方法和利用样品间距的装置