电磁辐射探测器、特别是红外辐射探测器以及制造所述探测器的方法

摘要

该红外辐射探测器包括：基本辐射热测量探测器的成像像素阵列，各基本辐射热测量探测器由以下构成：辐射热测量膜片(1)，所述辐射热测量膜片包括由氧化钒VOx制成的膜(5)，其电阻率在6Ω·cm至50Ω·cm之间，所述膜片悬挂在衬底(4)上方，所述衬底(4)集成了用于读出由所述基本探测器所产生信号和用于顺序寻址所述基本探测器的信号的电路；至少一种吸气剂，其旨在捕获在形成所述探测器期间或之后的残余气体；气密密封的腔体，在其中容纳所述像素阵列和所述至少一种吸气剂，所述腔体的上盖包括对红外辐射透明的窗口，所述盖借助密封件被密封到支撑基本探测器的像素阵列的芯片或被密封到底部已连接支撑基本探测器像素阵列的芯片的封装体，所述腔体处于真空或低压下。