法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G16C10/00 申请日:20190521
实质审查的生效
2019-07-05
公开
公开
机译: 大气等离子体发生器,用于稳定,均匀地产生高密度等离子体,并使用同一方法执行大面积等离子体处理和等离子体处理系统
机译: 用于在高密度等离子体处理室内分配气体以确保等离子体均匀的方法和装置
机译: 一种用于生产用于生产高密度等离子体和卤化物的感应磁体的方法,根据该方法制造感应磁体