包括两个窗口、光学元件和XY-偏转装置的偏转单元

摘要

本发明涉及偏转单元(10)，其包括光学元件(20)，光学元件(20)至少部分地反射第一波长且至少部分地透射不同的第二波长。偏转单元限定操作光束(14)经由光学元件(20)处的反射从第一窗口(12)到第二窗口(24)所经过的操作光束路径。偏转单元包括XY偏转装置(22)和聚焦装置(16)，其中XY偏转装置(22)布置在操作光束路径中以扫描已经出现的操作光束；聚焦装置(16)用于聚焦操作光束(14)，其中，聚焦装置具有可变焦距，并且布置在第一窗口(12)和光学元件(20)之间的操作光束路径中。