非晶硅薄膜晶体管及其制作方法

摘要

一种非晶硅薄膜晶体管及其制作方法，其中所述非晶硅薄膜晶体管包括基板、栅极层、栅极绝缘层、有源层、源漏极层、N+掺杂层、绝缘保护层及钝化层。栅极层设置在所述基板上。栅极绝缘层设置在所述栅极层上。有源层设置在所述栅极绝缘层上。源漏极层设置在有源层上。N+掺杂层设置在所述有源层和所述源漏极层之间。绝缘保护层设置在所述源漏极层上，其中沟道开设在所述源漏极层之间并贯穿所述N+掺杂层和所述绝缘保护层。钝化层覆盖所述沟道和所述绝缘保护层上，其中所述绝缘保护层与所述源漏极层在所述沟道内齐平设置。借此，通过绝缘保护层保护源漏极层避免干刻时遭到刻蚀而损伤。