一种硅基吸收型电光调制器及提高调制效率的方法

摘要

本发明的实施例公开了一种硅基吸收型电光调制器。硅基吸收型电光调制器包括硅衬底；形成在硅衬底上的埋氧层；形成在埋氧层上的光波导；所述光波导具有一个或多个轻掺杂区，所述轻掺杂区包括掺杂N型杂质的N型轻掺杂区和掺杂P型杂区的P型轻掺杂区，其中所述N型轻掺杂区与所述P型轻掺杂区重叠。通过在波导区掺入杂质，降低载流子迁移率，从而提高吸收系数。通过在波导区同时掺入N型杂质和P型杂质，并使两种杂质完全重叠，解决在波导区掺入杂质会提高器件的光学损耗的技术问题，可以在不产生额外的损耗的情况下，降低载流子迁移率，提高吸收系数。