钎焊接头和具有钎焊接头的半导体处理腔室部件

摘要

本文公开了形成金属陶瓷钎焊接头的方法。形成钎焊接头的方法包括：使金属部件的表面脱氧；组装所述接头；加热所述接头以熔融接头部件；以及冷却所述接头。在某些实施方式中，所述钎焊接头包括共形层。在另外实施方式中，所述钎焊接头具有减少所述接头内的应力集中的特征。