用于操作压电MEMS声换能器的方法和电路以及具有此类电路的集成电路

摘要

本发明涉及一种用于操作压电MEMS声换能器(4)、特别是在可听波长谱和/或超声范围中工作的MEMS扬声器和/或MEMS麦克风的方法，其中电能存储在至少一个储能器(2)中，并且该电能经由至少一个传输单元(3，13)在该储能器(2)和压电MEMS声换能器(4)之间间接传送。根据本发明，至少一个传输单元(3，13)和压电MEMS声换能器(4)被布置在并联连接(5)中并且被切换，使得为了操作压电MEMS声换能器(4)，在第一切换状态下首先由储能器(2)对该至少一个传输单元(3)进行充电，并且随后在第二切换状态下，该传输单元(3)再次放电并且向该压电MEMS声换能器(4)进行充电，和/或为了电能回收，在第三切换状态下，压电MEMS声换能器(4)再次放电并且该至少一个传输单元(3，13)被充电，以及随后在第四切换状态下，该传输单元(3，13)再次放电并且储能器(2)被充电。