用于具有减少的启动时间的MEMS声换能器的偏置电路

摘要

MEMS声换能器器件具有电容微机电感应结构以及偏置电路。偏置电路包括在输出端子上供应升高电压的升压电路，以及被设置在输出端子与感应结构的端子之间的、定义与绝缘电路元件相关联的第一高阻抗节点的高阻抗绝缘电路元件。偏置电路具有：预充电级，该预充电级在其第一输出上生成作为所述升高电压的函数并与该升高电压不同的第一预充电压；以及第一开关元件，其被设置在第一输出与第一高阻抗节点之间。第一开关元件可操作用于在偏置电路的启动阶段期间将第一高阻抗节点可选择地连接至第一输出，以用于将第一高阻抗节点偏置到第一预充电压。