用于基于碳的膜的自限制循环蚀刻方法

摘要

本公开内容的实施方案描述了一种用于基于碳的膜的循环蚀刻方法。根据一个实施方案，该方法包括：提供包含基于碳的膜的基底；将基于碳的膜暴露于氧化等离子体，从而在基于碳的膜上形成氧化层；此后，将氧化层暴露于非氧化惰性气体等离子体，从而去除氧化层并在基于碳的膜上形成碳化表面层；以及重复暴露步骤至少一次。