一种扁平型大面积高密度直流弧放电等离子体源

摘要

本发明公开了一种扁平型大面积高密度直流弧放电等离子体源，包括阴极、阳极，阴极安装于放电室中，阳极安装于放电室外，阳极与阴极之间采用多个并行设置的级联片连接，所述级联片与放电室之间、相邻级联片之间均通过绝缘连接件连接；所述级联片、绝缘连接件的中心开有通孔作为等离子体通道，阳极附着在最末端级联片的通孔内壁上，阳极的中心也开有通孔作为等离子体通道。本发明解决了现有级联弧等离子体源辐照面积小的问题，将点源拓展成了大面积面源。可以在一次实验中辐照大面积样品，或者同时辐照多个小样品进行对比实验。同时，本发明提出的方案还可以用于聚变堆面向等离子体部件整个模块的辐照，突破了该类型等离子体源辐照面积的限制。