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公开/公告号CN110071128A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-30
原文格式PDF
申请/专利权人 天津大学;
申请/专利号CN201910175287.4
发明设计人 高静;赵彤;徐江涛;聂凯明;
申请日2019-03-08
分类号H01L27/146(20060101);
代理机构12107 天津市三利专利商标代理有限公司;
代理人韩新城
地址 300072 天津市南开区卫津路92号
入库时间 2024-02-19 11:59:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L27/146 申请日:20190308
实质审查的生效
2019-07-30
公开
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