拾取结构、拾取机构及拾取模块

摘要

本发明公开了一种拾取结构、拾取机构及拾取模块，将支撑件装入安装孔中，并通过第一限位件与第一安装座限位配合，使得支撑件稳定支撑在安装孔中；接着，在支撑件与第一安装座之间设置弹性件，使得支撑件能够在安装孔中弹性移动。如此，当吸嘴与晶圆抵触时，支撑件则受到挤压力，使得弹性件发生弹性变形，一旦弹性件发生弹性变形时，支撑件则带动吸嘴在安装孔中往回移动，如此，有效避免吸嘴直接与晶圆刚性抵触而导致晶圆发生破碎而损坏。同时，由于支撑件与第一安装座之间设有弹性件，因此，在弹性件的作用下，吸嘴能够与晶圆保持紧密接触状态。当开启吸气设备时，通过吸取通道，使得吸嘴与晶圆之间形成真空，从而使得吸嘴能够安全吸取晶圆。