抗高温循环氧化的厚Ti／TiAlYN多层涂层及其制备方法

摘要

本发明涉及高温防护涂层领域，具体为一种抗高温循环氧化的厚Ti/TiAlYN多层涂层及其制备方法。该Ti/TiAlYN多层涂层的制备方法包括基体清洗、TiAlYN子层和Ti子层交替沉积以及最外层TiAlYN子层沉积，利用多靶材先后沉积的方式，在TC4基体上交替沉积TiAlYN子层和Ti子层，沉积于基体和最外层均为TiAlYN子层。该Ti/TiAlYN多层涂层具有优异的抗高温循环氧化性能，并具有高韧性的优点，涂层的子层厚度容易控制且可控范围大，工艺简单。