膜厚对导电氧化锌宽带抗反射涂层的太赫兹传输影响

摘要

利用直流磁控溅射方法，在石英基底上制备了可用于太赫兹电磁波频率范围内的宽带抗反射涂层的掺铝氧化锌导电薄膜。在太赫兹时域光谱频率0.1～1.0THz范围内研究不同厚度的氧化锌薄膜的介电响应，得到了与频率相关的电导率、吸收和薄膜折射率，着重研究了膜厚对太赫兹波传输特性的调制作用。实验结果很好地符合了经典的Drude模型，表明可以通过控制氧化锌薄膜的厚度来改变太赫兹波的传输特性，并且导电氧化锌薄膜能够作为太赫兹频段范围的宽带抗反射涂层应用于衬底和光学器件上。