一种超薄原子力显微镜测头

摘要

本发明公开了一种超薄原子力显微镜测头，该原子力显微镜测头采用一种超薄探针固定模块，探针固定模块包括：悬臂梁探针、压电陶瓷、探针夹持器、第一反射面、第一反射装置和第二反射装置，悬臂梁探针安装在探针夹持器中，悬臂梁探针的针尖位于探针固定模块的最低处，第一反射面位于悬臂梁探针的一侧，第一反射装置位于悬臂梁探针和第一反射面之间，第二反射装置位于悬臂梁探针和激光器之间，第三激光束被第二反射装置反射后从探针固定模块射出并形成第四激光束。本发明原子力显微镜测头中探针固定模块的Z向有效厚度仅为数毫米，可直接安装在工作距离大于该厚度的光学或电子显微镜下实现不同设备的集成联用。