一种管式PECVD设备双面沉积太阳能电池非晶硅层的方法

摘要

本发明管式PECVD设备双面沉积太阳能电池非晶硅层的方法，采用管式PECVD设备，对太阳能电池同时进行双面非晶硅镀膜，能够减少PECVD管数量，降低设备成本，减少翻片过程，防止硅片表面摩擦及污染，提高非钝化效果；操作简便，耗费时间短，效率高，设备成本、生产成本投入低廉，产能高，有利于异质结电池产品大规模量产。