有自测试能力的微机电压阻式压力传感器及对应制造方法

摘要

本公开涉及具有自测试能力的微机电压阻式压力传感器及对应制造方法。微机电压力传感器包括具有前表面的半导体材料的单片主体。感测结构被集成在单片主体中，并且具有在前表面处被完全地包含在单片主体内的埋入腔。感测膜被悬置在埋入腔上方，并且由单片主体的表面部分形成。压阻类型的感测元件被布置在感测膜中，以检测由于压力引起的感测膜的变形。压力传感器进一步被设置有被集成在单片主体内的自测试结构，以引起感测膜的测试变形的应用，以便验证感测结构的正确操作。本公开还涉及一种电子设备。