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包括跨越键合界面的电荷输送的电磁辐射检测器

摘要

提供了用于以高频谱和空间分辨率对电磁辐射进行检测和成像的单片CMOS集成像素检测器(10,20,30,260,470,570)以及系统和方法。这样的检测器包括Si晶片,所述Si晶片具有在导电共价晶片键合中被键合到吸收体晶片的CMOS处理的读出晶片。所述像素检测器、系统和方法被使用在各种医疗和非医疗类型的应用中。

著录项

  • 公开/公告号CN109964315A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-07-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 G射线瑞士公司;

    申请/专利号CN201780053053.1

  • 发明设计人 汉斯·凡肯尼尔;

    申请日2017-08-29

  • 分类号

  • 代理机构北京瀚方律师事务所;

  • 代理人周红力

  • 地址 瑞士欧特里沃

  • 入库时间 2024-02-19 11:46:10

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-08-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L27/146 申请日:20170829

    实质审查的生效

  • 2019-07-02

    公开

    公开

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