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一种基于氧化钽/二维黒砷磷/氧化钽的三层异质阻变存储器及其制备方法

摘要

一种基于氧化钽/二维黒砷磷/氧化钽的三层异质阻变存储器及其制备方法,由上电极Ru、阻变层氧化钽/二维黒砷磷/氧化钽和下电极TiN构成,上下氧化钽层成分均为TaOx,其中2

著录项

  • 公开/公告号CN109888092A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-06-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 天津理工大学;

    申请/专利号CN201910166030.2

  • 申请日2019-03-06

  • 分类号

  • 代理机构天津耀达律师事务所;

  • 代理人张耀

  • 地址 300384 天津市西青区宾水西道391号

  • 入库时间 2024-02-19 11:37:04

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-07-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L45/00 申请日:20190306

    实质审查的生效

  • 2019-06-14

    公开

    公开

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