一种基于阵列波导光栅结构的接触型线性应力传感器及其应力检测方法

摘要

本发明涉及一种基于阵列波导光栅结构的接触型线性应力传感器及其应力检测方法，包括输入通道、输入平板波导、特定根数单模波导构成的阵列波导光栅、输出平板波导、输出通道；阵列波导光栅，将构成其的特定根单模波导所属的矩形区域作为折射率敏感区域，即应力接触检测区。本发明接触型线性应力传感器，巧妙利用阵列波导光栅(AWG)对波长敏感的分波特性，即波导芯层有效折射率改变带来相邻波导内不同波长光的相位差的改变，经输出通道波导输出后，不同波导芯层有效折射率对应不同中心波长，实现器件的应力检测的功能。