一种基于阵列波导光栅结构的接触型线性浓度传感器及其流体检测方法

摘要

本发明涉及一种基于阵列波导光栅结构的接触型线性浓度传感器及其流体检测方法，包括宽谱光信号输入模块、特定根数单模波导构成的阵列波导光栅、宽谱光信号输出模块、光谱信号检测模块；阵列波导光栅，将构成其的特定根单模波导所属的倒三角形区域作为流体介质浓度接触检测区。本发明巧妙利用阵列波导光栅对波长敏感的分波特性，即波导芯层有效折射率改变带来相邻波导内不同波长光的相位差的改变，经输出通道波导输出后，不同波导芯层有效折射率对应不同中心波长，实现器件的流体浓度检测的功能；本发明接触型线性浓度传感器，基于倒三角形的折射率敏感单元，从而可以线性放大折射率改变引起的相位变化，实现器件对流体浓度的线性检测。