公开/公告号CN109962067A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-02
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201711405281.9
申请日2017-12-22
分类号
代理机构上海光华专利事务所(普通合伙);
代理人罗泳文
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2024-02-19 11:23:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L27/06 申请日:20171222
实质审查的生效
2019-07-02
公开
公开
机译: 基于Ceria的复合中空微颗粒分散体,其制备方法和抛光包含基于Ceria的复合中空微颗粒分散体的磨料颗粒分散体
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