首页> 中国专利> 用作栅电极的过渡金属合金和包括这些合金的器件

用作栅电极的过渡金属合金和包括这些合金的器件

摘要

本发明公开了过渡金属合金的实施例,这种合金的n型或p型功函数在高温下不会明显变化。所公开的过渡金属合金可用作晶体管的栅电极,或者形成为晶体管栅电极的一部分。本发明也公开了形成使用这些过渡金属合金的栅电极的方法。

著录项

  • 公开/公告号CN1598026B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-09-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 英特尔公司;

    申请/专利号CN200410058466.3

  • 申请日2004-08-16

  • 分类号C22C29/06(20060101);H01L21/24(20060101);H01L21/40(20060101);

  • 代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;

  • 代理人王英

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2022-08-23 09:11:03

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-08-09

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C22C 29/06 授权公告日:20120905 终止日期:20180816 申请日:20040816

    专利权的终止

  • 2012-09-05

    授权

    授权

  • 2012-09-05

    授权

    授权

  • 2005-05-25

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-05-25

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-03-23

    公开

    公开

  • 2005-03-23

    公开

    公开

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