法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-09
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J5/14 申请日:20190522
实质审查的生效
2019-07-16
公开
公开
机译: 热电堆红外传感器,热电堆红外传感器阵列及其制造方法
机译: 用作膜传感器以检测红外辐射的微机械热电堆传感器,其导电区域彼此横向间隔开,并在其上端和/或下端区域电接触,形成热电堆结构
机译: 用于光谱测量红外辐射的传感器元件,包括基板,在基板上侧形成的膜,在基板中的膜下方形成的腔,热电堆结构,过滤装置和热电堆电池