一种ECR离子源金属炉测试装置

摘要

本发明涉及ECR离子源金属炉测试装置，包括测试腔，其一侧开设有金属炉进口，另一侧开设有移动测温组件接口，第三侧开设有用于安装放气阀的放气口；真空硅管和涡轮分子泵，均设置在测试腔上并与测试腔的内腔相连通；热辐射屏蔽罩，水平设置在测试腔内部并形成金属炉的容置空间；移动测温组件经移动测温组件接口伸入测试腔内，用于对金属炉内部的轴向温度进行连续测量。本发明可以对ECR离子源金属炉进行离线测试，通过离线测试得出金属炉的各种运行参数并对其性能进行全面评估，同时根据测试结果便于对金属炉的结构和性能进行进一步的优化与改进。