一种适合氨热法生成氮化镓单晶制品的热等静压装置

摘要

本发明公开了一种适合氨热法生成氮化镓单晶制品的热等静压装置，其特征在于：包括内部设置热区的工作缸（2），置于所述的热区中的生成直径为200～400mm或更大规格的相应尺寸的氮化镓单晶生长容器（3），所述的热区分隔为分别对应加热所述的氮化镓单晶生长容器（3）的结晶区和溶解区的上加热区和下加热区，所述的氮化镓单晶生长容器（3）里面的挡板（18）位置相应的热区设置使挡板（18）上下区域产生适合氨热法生成氮化镓单晶制品的阶跃性温差的中隔热环（16），同时改善氮化镓单晶生长容器3即高压釜的工作应力为压应力，这样能增大整体锻造氮化镓单晶生长容器（3）规格尺寸，生长出直径为200～400mm，甚至更大规格的氮化镓单晶制品。