压电陶瓷激励装置及原子力显微镜、表面力场探测装置

摘要

本发明公开了一种压电陶瓷激励装置，包括：第一压电陶瓷、第一垫片以及第二压电陶瓷组件层叠设置，第一垫片设置于第一压电陶瓷与第二压电陶瓷组件之间；第一压电陶瓷用于接收第一电信号，并在第一电信号激励下进行纵向挠曲振动；第二压电陶瓷组件用于接收第二电信号组，并在第二电信号组激励下进行横向扭转振动。通过采用压电陶瓷堆叠方式，利用不同电信号对压电陶瓷激励装置中不同的压电陶瓷进行激励，使得压电陶瓷激励装置可同时进行横向和纵向的合振动。该压电陶瓷激励装置可用于原子力显微镜，使其进行横向和纵向的非接触相互作用力的测量，从而增加原子力显微镜的空间分辨率。本发明还公开了一种原子力显微镜、表面力场探测装置及探测方法。