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原子力显微镜的压电陶瓷非线性及图象畸变的校正

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摘要

研制了卧式原子力显微镜 (AFM )系统 ,讨论压电陶瓷的非线性及AFM图象畸变的软件校正方法提出利用光束偏转法精确测定XY扫描器压电陶瓷的伸长量与控制电压之间的相互关系 ,得到压电陶瓷的非线性曲线 ;根据非线性的偏离程度 ,通过扫描软件对X和Y方向的扫描电压作逐点补偿 ,据此有效地校正图象畸变

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来源
《光子学报》 |2002年第10期|1252-1255|共4页
作者
张冬仙; 章海军;
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作者单位

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类显微镜;
关键词
原子力显微镜; 压电陶瓷; AFM; 非线性; 图象畸变; 校正;

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