复杂多变量晶片处理设备中实现机器学习的方法和过程

摘要

提供了用于控制等离子体反应器的处理状态以启动生产衬底的方法和系统。方法使用等离子体反应器的调节按钮的设置启动等离子体反应器中的衬底的处理，设置被逼近以实现期望的处理状态值。多个数据流被接收并用于识别当前的处理状态值。方法包括生成补偿矢量，补偿矢量识别当前的处理状态值与期望的处理状态值之间的差异。补偿矢量的生成使用机器学习来改善和修整期望的补偿的识别和数量，如在补偿矢量中所识别的。方法还将补偿矢量转换为对调节按钮的设置的调整且然后将调整应用于等离子体反应器的调节按钮。