针对纳米孪晶金刚石刀具的飞秒激光加工系统及基于该系统的加工方法

摘要

针对纳米孪晶金刚石刀具的飞秒激光加工系统及基于该系统的加工方法，涉及激光加工技术领域。本发明是为了解决传统的机械加工手段无法制备纳米孪晶金刚石刀具的问题。本发明利用能量束进行加工，在材料去除过程中不受材料性能的限制，能够实现对新型极硬刀具的加工。同时，本发明单次扫描宽度由圆振动振幅决定，可实现振幅最大值以内的稳定材料去除，因此其加工效率通常将提高10倍以上。并且在单次扫描面积上，入射激光能量将被更加均匀的分布在加工表面上，改善飞秒激光由热效应带来的对材料表面的强烧蚀破坏，大大提高了加工精度。