公开/公告号CN109742026A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-10
原文格式PDF
申请/专利权人 哈尔滨工业大学;
申请/专利号CN201910136716.7
申请日2019-02-25
分类号H01L21/335(20060101);H01L23/373(20060101);H01L29/778(20060101);
代理机构23109 哈尔滨市松花江专利商标事务所;
代理人岳泉清
地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
入库时间 2024-02-19 10:19:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/335 申请日:20190225
实质审查的生效
2019-05-10
公开
公开
机译: 用于制备金刚石辅助散热碳化硅基材的直接生长方法
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