一种抑制横向声波损耗的薄膜体声波谐振器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种抑制横向声波损耗的薄膜体声波谐振器，包括：压电层；上电极，所述上电极沿第一方向覆盖所述压电层；下电极，所述下电极沿第二方向包围所述压电层的底面和侧面；以及衬底。基于本发明的该种抑制横向声波损耗的薄膜体声波谐振器结构，可以很好地降低谐振器的横向声波泄露，改善谐振器谐振特性，便于薄膜体声波谐振器结构向高性能、低功耗的方向发展。