被动式二维磁悬浮工作台

摘要

被动式二维磁悬浮工作台，属于磁悬浮隔振平台领域，本发明为解决现有超精密测量、加工领域采用空气弹簧作为隔振元件无法适应真空环境的问题。本发明包括上单元工作台和下单元工作台，上单元工作台和下单元工作台的结构相同，分别包括动子框架、定子基座和四组承重调整单元；定子基座为“工”字体，四组承重调整单元的定子永磁体分别固定在定子基座上台面的上下两侧，动子框架为“门”字体，四组承重调整单元的动子永磁体分别固定在动子框架的四个角内部，四组定子永磁体和动子永磁体分别相对设置，定子永磁体和动子永磁体之间设有Z向气隙；上单元工作台和下单元工作台沿XOY平面互相垂直，沿Z向上下叠放。本发明用于超精密测量和加工。