公开/公告号CN109755332A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-14
原文格式PDF
申请/专利权人 惠科股份有限公司;
申请/专利号CN201811510595.X
申请日2018-12-11
分类号H01L31/028(20060101);H01L31/18(20060101);G01J1/42(20060101);
代理机构44240 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙);
代理人邢涛
地址 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋九州阳光1号厂房5、7楼
入库时间 2024-02-19 10:15:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-07
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/028 申请日:20181211
实质审查的生效
2019-05-14
公开
公开
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