一种基于石墨烯-半导体异质结的位敏感光电探测器

摘要

本发明公开了一种基于石墨烯‑半导体异质结的位敏感光电探测器，该探测器结构自下而上依次为金属背电极1、半导体层2和开孔绝缘层3，其中开孔绝缘层3的开孔处覆盖有石墨烯层4，且石墨烯层4的边缘伸出开孔绝缘层3的开孔，平铺于开孔绝缘层3的上表面；在平铺于开孔绝缘层3上表面的石墨烯层4上表面设置有水平X轴方向的金属对电极和垂直Y轴方向的金属对电极；覆盖在开孔绝缘层3开孔处的石墨烯层4上表面修饰有等离激元金属纳米结构6。本发明提出的位敏感光电探测器具有响应速度快、位置探测灵敏度高，能够探测微弱光信号的特点，在光电信号检测领域具有很好的应用前景。