中等孔径多孔硅基氧化锌薄膜复合材料气敏传感器及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种中等孔径多孔硅基氧化锌薄膜复合材料气敏传感器及其制备方法和应用，由中等孔径多孔硅基底、Pt膜电极、中等孔径多孔硅基氧化锌敏感层和Pt电极组成，所述的中等孔径多孔硅基氧化锌敏感层由中等孔径多孔硅层和恒电位电化学沉积在其上的氧化锌薄膜组成。本发明通过在中等孔径多孔硅基底制备欧姆接触电极，然后利用电化学法在中等孔径多孔硅上原位生长ZnO薄膜的方法较为简单，所需控制的工艺条件较少，成本低廉；构造n‑n型异质结结构，可在室温下探测低浓度二氧化氮气体，具有灵敏度较高、响应/恢复性能较好、选择性和重复性好的特点。