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使用元表面的傅里叶变换干涉仪

摘要

公开了一种傅里叶变换干涉仪,包括相变板,该相变板包括:反射层,被配置为对入射的第一光进行反射;以及元表面,被配置为局部地且不同地改变被反射的第一光的相位。该傅里叶变换干涉仪还包括:光电检测器,被配置为检测第二光,以及半透半反镜和反射镜,被配置为:使入射的第三光的第一部分透射到相变板;使第三光的剩余部分透射到光电检测器;以及使得相位被局部地且不同地改变的第一光透射到光电检测器。光电检测器还被配置为检测第三光的剩余部分与相位被局部地且不同地改变的第一光之间的干涉图案。

著录项

  • 公开/公告号CN109813430A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-05-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 三星电子株式会社;

    申请/专利号CN201811186556.9

  • 发明设计人 朴研相;

    申请日2018-10-11

  • 分类号G01J3/45(20060101);G01J3/02(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人范心田

  • 地址 韩国京畿道

  • 入库时间 2024-02-19 10:06:30

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-05-28

    公开

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