一种基于混合位移传感器和平面电机的位移装置

摘要

本发明公开一种基于混合位移传感器和平面电机的位移装置，其包括工作台和定子，其中定子设计有一个工作区域并且定子包括磁体块系统，工作台沿第三方向(Z)可移动地与定子邻接配置，工作台包括电机线圈系统，电机线圈系统与磁体块系统作用，使工作台在工作区范围内产生六个自由度的位移，还包括多个长距离无接触位移传感器和多个短距离无接触位移传感器，长距离无接触位移传感器安装在定子上，通过多个长距离无接触位移传感器的反馈信号得出工作台沿第一方向(X)和第二方向(Y)平动以及绕第三方向(Z)转动的三个自由度运动的位移，短距离无接触位移传感器沿第三方向(Z)安装在工作台上，指向定子，用于测量工作台和定子的间距。