一种产生飞秒级高通量和超高重复频率极紫外射线的装置

摘要

本发明公开了一种产生飞秒级高通量和超高重复频率极紫外射线的装置，包括：所述超高重复频率的飞秒激光器用于输出飞秒量级的激光脉冲，其重复频率最高可达MHz；所述聚焦光学元件用于将激光脉冲引导并聚焦至真空腔体内的连续性气体装置中；所述连续性气体装置用于释放气体并与聚焦后的激光脉冲相互作用后产生飞秒级极紫外射线；所述真空系统用于吸收气体装置中多余气体，确保装置内的真空度；所述监控系统用于监控激光和气体装置的相互作用，避免装置被激光击穿。本发明结构简单，操作便捷，所形成的高通量和超高重复频率极紫外射线具有飞秒级别的脉冲宽度，能够为光电子能谱等科学仪器应用提供优质光源，大大提高测量效率，有助于超快领域研究。