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一种防工件旋转和振荡的涡旋式非接触真空吸盘

摘要

本发明公开了一种防工件旋转和振荡的涡旋式非接触真空吸盘,包括上端盖、下端盖;上端盖和下端盖固定连接;上端盖中心设有通孔;下端盖为上端小、下端大的台阶圆柱结构;下端盖中心设有与通孔同轴的盲孔;上端盖下设安装孔,下端盖上端圆柱位于安装孔内,且下端盖上端圆柱小于安装孔尺寸;端盖径向上均匀设有多个导气孔,导气孔将盲孔与空腔相连通;下端盖下端圆柱上端面与上端盖下端面之间设有密封圈;所述下端盖下端设有一圈环形腔;下端盖上均匀设有至少两个射流发生孔;射流发生孔将空腔与环形腔相连通;射流发生孔的出气口射流方向与环形腔径向相切;下端盖上沿径向上均匀设有多个分流孔;本发明可使工件吸取过程中更加稳定。

著录项

  • 公开/公告号CN109659270A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-04-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 南京理工大学;

    申请/专利号CN201910021514.8

  • 发明设计人 滕燕;向禹;谢玉飞;

    申请日2019-01-10

  • 分类号H01L21/683(20060101);

  • 代理机构32203 南京理工大学专利中心;

  • 代理人唐代盛

  • 地址 210094 江苏省南京市孝陵卫200号

  • 入库时间 2024-02-19 09:44:24

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-05-14

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/683 申请日:20190110

    实质审查的生效

  • 2019-04-19

    公开

    公开

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