固体材料粗糙表面声扰动的光学非接触检测装置及方法

摘要

本发明公开了一种固体材料粗糙表面声扰动的光学非接触检测装置及方法，该装置包括检测连续激光源、第一聚焦透镜、第二聚焦透镜、第三聚焦透镜、第四聚焦透镜、固体材料样品、数字微镜阵列、光阑、工业相机CCD、光电探测器、计算机、示波器。方法为：首先将一束连续检测激光聚焦于样品表面，使用数字微镜阵列搜集并均分反射的散射光斑；然后将声扰动引起的样品表面质点振动，转化为散射光斑在数字微镜上的移动；接着使用光电探测器接收数字微镜反射光斑的功率变化，最终实现粗糙表面声扰动的光学检测。本发明可实现对沿粗糙固体材料表面声扰动的非接触式检测。