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公开/公告号CN109799088A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-24
原文格式PDF
申请/专利权人 东北林业大学;
申请/专利号CN201711122396.7
发明设计人 李树森;周梓健;孙佳丽;王成成;
申请日2017-11-14
分类号G01M13/04(20190101);
代理机构
代理人
地址 150040 黑龙江省哈尔滨市香坊区和兴路26号
入库时间 2024-02-19 09:44:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-24
公开
机译: 静压气体轴承,用于真空环境的静压气体轴承装置以及静压气体轴承装置的气体回收方法
机译: 真空环境中的静压气体轴承,静压气体轴承装置以及静压气体轴承装置的气体回收方法
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机译:真空兼容静压气体轴承半导体曝光装置,采用静压气体轴承和气动执行器
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