晶圆边缘抛光机构及晶圆边缘抛光装置

摘要

本申请公开一种晶圆边缘抛光机构及晶圆边缘抛光装置，其中，所述晶圆边缘抛光机构包括抛光转盘和边缘抛光组件，抛光组件更包括翻转主体以及分别设于翻转主体相对两端的边缘抛光件和页片，通过驱动抛光转盘旋转，利用页片可带动边缘抛光组件相对抛光转盘作预设幅度的翻转以令边缘抛光组件上的边缘抛光件针对待抛光的晶圆进行边缘抛光，可免除边缘抛光件的专用驱动部件，具有结构简单、易操作等优点。