一种基于法布里-珀罗原理的位移传感器

摘要

本申请公开一种基于法布里‑珀罗原理的位移传感器，所述位移传感器包括：外壳、光纤、反光镜和位移折减结构；其中，所述光纤的端部为第一反射面，所述反光镜为第二反射面；所述位移传感器的探杆发生第一位移改变量时，所述位移折减结构将所述第一位移改变量折减成第二位移改变量并带动所述第二反射面发生第二位移改变量，所述第二位移改变量小于所述第一位移改变量且和所述第一位移改变量成线性关系，通过测量所述第一反射面和所述第二反射面之间的干涉腔长变化量，确定所述第二位移改变量，并基于所述第一位移改变量与所述第二位移改变量之间的关系确定所述第一位移改变量。