可溶性铜阳极、电解铜电镀装置、电解铜电镀方法及酸性电解铜电镀液的保存方法

摘要

本发明的目的是提供一种能够稳定地抑制阳极泥的生成的可溶性铜阳极、电解铜电镀装置、电解铜电镀方法及酸性电解铜电镀液的保存方法。为了实现该目的，本发明提供一种用于电解铜电镀的可溶性铜阳极，其特征在于，包含收纳了铜部件的钛外壳及与该钛外壳接触的氧化铱部件。这里，该氧化铱部件至少表面的材质为氧化铱单体或氧化铱复合物，从而能够抑制阳极泥的生成，不会导致电镀特性的下降。